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多晶硅切片工艺流程?

来源:www.ahlulin.com   时间:2023-08-11 23:04   点击:73  编辑:admin   手机版

一、多晶硅切片工艺流程?

具体如下工艺步骤:

(1)、打开电源启动线切割机;

(2)、检查线网是否有跳线,检查导线轮是否损伤,确认放收线轮上的钢线

余量够切,检查砂浆供给、喷嘴、工件装置;

(3)、横移架的位置是否校正;

(4)、将多晶硅锭固定于截断设备上,截除多晶硅锭顶部的杂质层;

(5)、从硅锭上截除出硅锭的顶部低少子寿命部分和底部低少子寿命部分;

(6)、将硅锭固定于开方机台,对硅锭进行开方,并截除硅锭四周的杂质层;

(7)、开方得到的硅块,经过清洗检测后便是可用于切片的成品硅棒;

(8)、准备完毕后看是否还有报警信息存在;

(9)、进入主画面,检查一遍。

2.如权利要求1所述的一种多晶硅片的切片作业工艺,其特征在于:在切

割过程中观察机器运行状况,线张力控制在21N左右,平均进给为0.32mm/min。

3.如权利要求1所述的一种多晶硅片的切片作业工艺,其特征在于:在切

割过程中控制平均线速范围540m/min,砂浆流量75L/min,砂浆温度控制在

25℃,砂浆每2刀一循环(约230KN),主辊每35/40刀更换一次(约

140/160小时)。

4.如权利要求1所述的一种多晶硅片的切片作业工艺,其特征在于:步骤

(4)和(5)中,利用带锯截断,在截除完顶部杂质层之后,分别截除顶部

低少子寿命部分和底部低少子寿命部分。

5.如权利要求1所述的一种多晶硅片的切片作业工艺,其特征在于:步骤

(4)和(5)中,利用线截断,截除完顶部杂质层的同时截除顶部低少子

寿命部分和底部低少子寿命部分。

二、听很多人说超声波清洗机的清洗效果很好,那么清洗多晶硅效果如何?

威固特为您解答:

多晶硅超声波清洗加工设备,可广泛用于IC生产及半导体元器件生产中晶片的湿法化学工艺。该设备可有效去除晶片表面的有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层及石英、塑料等附件器皿的污染物,且不破坏晶片表面特性。

 

三、国际硅片清洗机主流制造商有哪些?主要想知道欧美、日韩台地区的?

硅片清洗机都是按照硅片清洗工艺设计的,国内的清洗机肯定是没问题的,想买去问问就行了,国外的话清洗机大概200多万一台,是日本的,我接触过,我是专门搞单晶和多晶硅片清洗工艺的,估计对你有所帮助,你可以加我为好友

四、硅片晶圆超声波清洗机的工艺流程?

为您解答:

自动上料→去离子水+超声波清洗+振动筛抛动→碱液+超声波清洗+抛动→去离子水+超声波清洗+抛动→碱液+超声波清洗+抛动→碱液+超声波清洗+抛动→去离子水+超声波清洗+抛动+溢流→去离子水+超声波清洗+抛动+溢流→自动下料

五、想知道硅片晶圆超声波清洗机的工艺流程是怎么样的?知心人士告知一下,谢谢!

威固特为您解答:

    自动上料→去离子水+超声波清洗+振动筛抛动→碱液+超声波清洗+抛动→去离子水+超声波清洗+抛动→碱液+超声波清洗+抛动→碱液+超声波清洗+抛动→去离子水+超声波清洗+抛动+溢流→去离子水+超声波清洗+抛动+溢流→自动下料 

 

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