由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度，可将罗茨泵串联使用。
当前级真空泵抽到一个大气压后,可以连动罗茨泵打开,加热增压泵逐步启动将真空度推向中级真空和高真空
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