臭氧发生器是利用高压放电原理，将氧气转化为臭氧的过程。即将高压交流电加在中间隔有绝缘体并有一定间隙的高压电极上，让经过的干燥净化空气或氧气通过。
当高压交流电达到10-15KV时，产生蓝色辉光放电[电晕]，电晕中的自由高能离子离解O2分子，经碰撞聚合为O3分子。