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超声波清洗机能清洗硅片吗?

来源:www.ahlulin.com   时间:2023-04-13 20:24   点击:55  编辑:终融   手机版

一、超声波清洗机能清洗硅片吗?

1、硅片晶圆超声波清洗机能清洗硅片。

2、硅片晶圆生产清洗工艺中,使用超声波清洗机有效去除硅片晶圆表面的有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层及石英、塑料等附件器皿的污染物,且不破坏晶片表面特性。根据不同清洗工艺配置相应的清洗单元,各部分有独立控制,随意组合。

3、硅片的清洗在半导体制作过程中十分重要,而磨片的清洗是所有清洗工序中最困难的。由于使用了硅片超声波清洗机,通过物理渗透作用,使污染颗粒脱离硅片表面,再通过超声波清洗的机械作用和化学腐蚀作用,最终去除污染颗粒,达到了清洗硅片的目的。

二、怎样对硅平面工艺中的单晶硅片进行清洗

4)工艺流程

a)工艺流程

->1# 自动上料

->2# 超声碱洗->3# 超声碱洗->4# QDR清洗

->5# 超声漂洗->6# 超声漂洗

->7# 溢流清洗(DI水)

->8# 单晶绒面处理 ->9# 单晶绒面处理 ->10# QDR清洗 (DI水)

->11# 单晶绒面处理 ->12# 单晶绒面处理 ->13# QDR清洗 (DI水)

->13#、14# 之间风淋(Air)

->14# 溢流清洗(DI水)

->14#、15# 之间风淋(Air)

->15# 溢流清洗(DI水)

->16# HCL处理->17# HCL处理

->18# QDR清洗 (DI水)->19# QDR清洗 (DI水)

->20# HF 处理

->21# QDR清洗 (DI水)->22# 溢流清洗(DI水)->23# 溢流清洗(DI水)

->24# 自动下料

三、听说深圳威固特电子元件超声波清洗机主要适用于半导体、晶体、电阻、电容、PCB板、IC芯片、接插件、连接件、转接器、硅片、三极管、二极管、电子线路板、电脑主板、压电陶瓷基片、显像管、电真空器件等电子器件 生产加工过程工序间的清洗。我只有照片,不知道他的清洗优势怎么样呢?求解!

威固特为您解答:

        电子产品根据器件材料不同,采用有机溶剂、水基溶剂、市水、纯水、作为清洗介质。清洗介质不同,工艺、流程则也不同。一般塑胶材料多采用市水、水基、纯水作为清洗媒介,其工艺流程中应清洗对像的不同要求,多附带电子红外线烘干线。并可配备独特的抛动、旋转等清洗工艺使工件表面更加洁净。金属材料则多采用有机溶剂作为清洗介质,配以溶剂过滤及回收装置,以提高效率降低成本。

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四、如何对硅片表面进行疏水处理?

使用硅偶联剂或氟硅偶联剂。

五、单晶硅超声波清洗机的清洗原理?

一、单晶硅超声波清洗机简介:

随着半导体材料技术的发展,对硅片的规格和质量也提出更高的要求,适合微细加工的大直径硅片在市场的需求比例将日益加大。半导体,芯片,集成电路,设计,版图,芯片,制造,工艺目前世界普遍采用先进的切、磨、抛和洁净封装工艺,使制片技术取得明显进展。最新尖端技术的导入,使SOI等高功能晶片的试制开发也进入批量生产阶段。对此,硅片生产厂家也增加了对300mm硅片的设备投资,针对设计规则的进一步微细化。利用超声波清洗技术,在清洗过程中超声波频率在合理的范围内往复扫动,带动清洗液形成细微回流,使工件污垢在被超声剥离的同时迅速带离工件表面,提高清洗效率。

二、单晶硅超声波清洗机工作原理:

1、真空脱气:有效去除液体中气体,且运用抛动功能,增强超声对工件表面油污和污垢的清洗能力,缩短清洗时间;

2、洗篮转动机构:重叠不可分拆的零件或形状复杂的零件,也可做到均匀完整的清洗;

3、减压真空系统:能吸出盲孔、缝隙及叠加零件之间的空气,使超声波在减压的状态下产生惊人的清洗效果

4、真空蒸汽清洗+真空干燥系统:利用蒸汽洗净做养护,完美实现清洗效果;

5、蒸汽清洗、干燥及清洗液加热的全过程在减压真空中进行,更有效地确保了安全性;

6、防爆配件及简洁加热系统,进一步提高安全度。

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